今天低溫等離子電源廠家來給大家講解一下等離子清洗的分類。
等離子體與固體表面發(fā)生反應(yīng)可以分為物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)。物理反應(yīng)機(jī)制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面被真空泵吸走；化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是各活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)。
以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕或離子銑，其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會(huì)留下氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性，腐蝕作用各向異性；缺點(diǎn)就是對(duì)表面產(chǎn)生了很大的損害，會(huì)產(chǎn)生很大的熱效應(yīng)，對(duì)被清洗表面的各不同物質(zhì)選擇性差，腐蝕速度較低。以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗的優(yōu)點(diǎn)是清洗速度較高、選擇性好、對(duì)清掉污染物有用，缺點(diǎn)是會(huì)在表面產(chǎn)生氧化物。
和物理反應(yīng)相比較，化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)不易克服。并且兩種反應(yīng)機(jī)制對(duì)表面微觀形貌造成的影響有不同，物理反應(yīng)能夠使表面在分子類范圍內(nèi)變得“粗糙”，從而改變表面的粘接特性。還有一種
等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用，即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促成，離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損壞削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài)，容易吸收反應(yīng)劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之容易產(chǎn)生反應(yīng)；其作用是既有較好的選擇性、清洗率、均勻性，又有較好的方向性。
