在真空磁控濺射鍍膜技術(shù)中的等離子體，一般是電場(chǎng)作用下通過(guò)工作氣體放電形成的。構(gòu)成分子的原子獲得很大的的動(dòng)能，開(kāi)始彼此分離，原子的外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，失去電子的原子變成正離子，這一過(guò)程叫電離。
等離子體是一種電離氣體，是離子、電子和高能原子等的集合體；正離子和電子總是成對(duì)的出現(xiàn)，總數(shù)大致相等，整體呈準(zhǔn)電中性，它是一種由帶電粒子組成的電離狀態(tài)，稱(chēng)為物質(zhì)的第四態(tài)-等離子態(tài)。
對(duì)氣體放電形成等離子體施加電壓或電場(chǎng)，伴隨導(dǎo)電離子、粒子、電子等的移動(dòng)，在等離子體中會(huì)流過(guò)電流，這就是等離子體的導(dǎo)電性。
在氣相沉積過(guò)程中，工作氣體和靶材金屬原子被高能電子撞擊電離為由電子、氣體離子和金屬離子等導(dǎo)電粒子組成的等離子體。
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